Okwu mmalite TEM

Mikroskopu eletrọnịkị nke nnyefe (TEM) bụ usoro nyocha ihe nhazi microphysical dabere na microscopy eletrọn dabere na beam eletrọn dị ka isi iyi ọkụ, yana mkpebi kachasị ihe dịka 0.1nm.Mpụta nke teknụzụ TEM emeela ka njedebe nke nlele anya gba ọtọ nke mmadụ nke ihe owuwu microscopic, ma bụrụ ihe dị mkpa maka nyocha microscopic dị na mpaghara semiconductor, ma bụrụkwa ngwa dị mkpa maka nyocha na mmepe usoro, nyocha usoro mmepụta oke, na usoro. nyocha anomaly na mpaghara semiconductor.

TEM nwere ọtụtụ ngwa dị iche iche na mpaghara semiconductor, dị ka nyocha usoro nrụpụta wafer, nyocha mgbawa mgbawa, nyocha mgbawa mgbawa, mkpuchi na etching semiconductor usoro nyocha, wdg. ụlọ ọrụ imewe ihe mgbawa, nyocha na mmepe akụrụngwa semiconductor, nyocha ihe na mmepe, ụlọ ọrụ nyocha mahadum na ihe ndị ọzọ.

GRGTEST TEM mmeghe ikike otu nka
Ndị otu teknụzụ TEM bụ Dr. Chen Zhen na-eduzi, yana ọkpụkpụ azụ azụ nke otu ahụ nwere ihe karịrị afọ 5 nke ahụmahụ na ụlọ ọrụ ndị metụtara ya.Ọ bụghị naanị na ha nwere ahụmịhe bara ụba na nyocha nsonaazụ TEM, kamakwa ahụmịhe bara ụba na nkwadebe ihe atụ FIB, ma nwee ikike iji nyochaa 7nm na n'elu usoro wafers dị elu na usoro isi nke ngwaọrụ semiconductor dị iche iche.Ka ọ dị ugbu a, ndị ahịa anyị nọ n'elu ụlọ mbụ-line fabs, nkwakọ ngwaahịa ụlọ ọrụ, mgbawa imewe ụlọ ọrụ, mahadum na sayensị nnyocha institutes, wdg, na ọtụtụ ndị ahịa ghọtara.